真空・半導体用潤滑剤の基本情報|NOK株式会社

真空・半導体用潤滑剤

BARRIERTAはKlüber Lubrication München GmbH & Co. KGの登録商標です。（商標登録3140008号）

特長

１）アウトガスの発生を非常に抑えたグリースであるため、目標の真空度で安定した真空環境を維持することができ、
　　アウトガスやパーティクルによる製造不良を低減することができます。

２）基油の蒸気圧が非常に低いグリースであるため、高真空環境下でも蒸発が少なく、ウェーハの汚染を抑えることができます。

３）離油度を非常に抑えたグリースであるため、基油の飛散が少なくなり、基油の飛散によるウェーハの汚染を抑えることができます。

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特性

真空・半導体用潤滑剤は、完全フッ素化オイル（パーフルオロポリエーテル）を基油に使用し、低蒸気圧性、低アウトガス性、耐薬品性に優れるため、半導体製造装置など真空環境に晒される用途で使用できます。

評価試験

アウトガス発生測定試験（ASTM E 595準拠）

下記試験条件でグリースからのアウトガス発生量をTML（質量損失比）およびCVCM（再凝縮物質比）で測定しました。
フッ素グリースである真空・半導体用潤滑剤「BARRIERTA」 SUPER IS/V は、他社真空用フッ素グリースと比べて、遥かにアウトガスの発生量を抑えます。アウトガスの発生を抑えることで、ウェーハの汚染を少なくすることができます。

【試験条件】
真空度　　　　　　：　7.0×10-3 Pa以下
加熱棒温度　　　　：　125±1 ℃
冷却板温度　　　　：　24±2 ℃
保持時　　　　　　：　24 h
初期試料重量　　　：　200~300mg

基油の蒸気圧測定試験（クヌーセンエフュージョン法）

間接加熱型のクヌーセンセルに試料0.01gを入れ、既定の圧力、温度にし、試験時間後に試料を取り出し、試験前後の重量変化より、蒸発量を算出しました。
フッ素グリースである真空・半導体用潤滑剤「BARRIERTA」 SUPER IS/V は他社真空用フッ素グリースに比べて、基油の蒸気圧が低いです。基油の蒸気圧が低いことで、高真空環境下での基油の蒸発が少なくなります。

【試験条件】
圧力： <0.13Pa
温度： 220℃、250℃、280℃
時間： 10min